Rsuwei
RTD Wafer是一种采用特殊加工工艺制成的温度传感器,其将测温元件(RTD)嵌入晶圆表面的特定位置,能够实时监测晶圆表面温度。该传感器可用于获取晶圆特定区域的真实温度数据及整体温度分布,也可在热处理过程中持续监测晶圆的瞬态温度变化。
适合精度要求高的测温,精度可达0.05℃;可定制定位数高达97点。
光刻涂胶显影TRACK设备原子层沉积(ALD)探针台测温高精度加热盘
约35天
1.确定温度精度要求与尺寸2.确定真度要求3.确定点位数量与排布4.确定引出线长度