ALS 无线水平校准晶圆

晶圆传输自动平衡系统（Auto Leveling System）是一种专门设计用于半导体制造过程中的晶圆传输设备，以确保晶圆在传输过程中的水平稳定性和安全性，提高生产效率。

ALS系统的核心功能是精确测量各种设备台面的X/Y方向倾斜角度，以确保晶圆在传输、装载和处理过程中始终处于最佳水平位置。

高精度角度测量：
系统专注于测量X和Y轴的水平调平角度，测量范围覆盖±90°，足以应对任何可能的倾斜情况。其核心精度达到了±0.01°。

高频动态采样：
提供100Hz的标准采样率，并可定制200Hz的高频模式。

无线连接：
采用蓝牙连接方式。

专用集成系统：
包含ALS专用软件和配套主机，形成一个完整的测量生态系统。软件负责实时显示、记录和分析X/Y倾斜角度数据。