AMS Wafer多功能无线测量晶圆

AMS Wafer是使用特殊加工工艺将多个传感器模块集成到电路板上，能够快速测量震动、加速度、水平和湿度的一体式多功能量测工具，帮助提高半导体机台设备的调试效率。
代替晶圆在机械手等位置上进行传输过程的测量，测量传输过程中的加速度，还可以测量Chamber温度与湿度。